氮气是一种非金属气体，化学式为N2。它是地球大气中含量高的气体之一，占空气体积的78%。氮气的组成非常简单，只有一个元素：氮。它是一种无色、无味、无臭的气体，在室温下为气态。氮气的沸点为-196.14°C，临界温度为-152.96°C。它的相对分子质量为28。
电子气体在半导体领域的应用至关重要，特别是在半导体材料的制备过程中，用于保护材料的纯净与稳定。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺，而高纯气体主要用作稀释气和运载气。氩气在半导体晶片生长和晶体陶瓷制备中是重要的材料，氦气则可用于半导体材料的干燥和清洗。据参考文章，电子特气在集成电路领域应用的种类超过110余种，用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，是半导体行业必需的支撑性材料。
氦气的发现是源于一位法国化学家的实验。1860年，这位名叫亨利·德维尔的年轻科学家正在研究一种叫做氢油的东西（其实就是煤油的成分）。然而当他将燃烧棒浸入这种液体时却发生了出人意料的情况：火焰竟然从液滴中飘起！这使他在困惑之余想到这是某种新的气体的作用结果，于是他便开始对这种未知气体进行研究并终确定了它的元素性质——这是一种在当时以前闻所未闻到的新物质--氦
这个发现在当时的科学界引起了极大的震动和广泛的运用.因为其特殊的物理特性,常温下能携带大量的热而均匀散发的特点使其成为了理想的气体液化剂从而广泛应用在了大功率内燃机、飞机发动机以至各种气球的设计制造领域；此外由于它密度很小还可以充填高压空气船等，并且在宇宙航行和新光源的研究工作中也有重要的作用。
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